EUVフォトン株式会社
企業情報Company Information
- 代表取締役
浅野 種正
登壇内容Talk Details
- 会社概要
- 2024年7月29日設立。主な事業は以下の通り。
1)ＥＵＶ光に関する材料の処理、測定、及び評価サービスの提供
・試験｜微細パターン形成 / ペリクル耐久性 / マスク耐久性 / ミラー洗浄評価
・開発支援｜レジスト / ペリクル素材 / マスク材料
(2)ＥＵＶ光に関する研究開発及びその受託
(3)ＥＵＶ光に関するコンサルティング
(4)ＥＵＶ光に関する人材育成、教育、セミナー及び研究会等の運営